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高純系列純化器
YZ-099N系列純化器

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芯片半導(dǎo)體、LED、激光、光纖行業(yè)、集成電路產(chǎn)業(yè)
工業(yè)介紹
1、氣體通過高溫催化氧化工序?qū)怏w的N2和CH4等雜質(zhì)還原成H20和CO2
2、吸附柱吸附飽和后可加熱再生、反復(fù)使用。
3、氣體通過多柱吸附工序,深度脫除氣體中的O2、H2O、CO2、CO、H2等雜質(zhì)。
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純化指標(biāo)氣體類別
可純化氣體去除雜質(zhì)純
| 氣體類別 | 可純化氣體 | 去除雜質(zhì) | 純化指標(biāo) |
| D-惰性氣體 | N2、Ar、He、Ne、Kr | H2O、O2、CO、CO2、H2、CH4、NMHC | <1ppb |
| Y-氧氣 | O2XCDA | H2O、CO2、NMHC | |
| Q-氫氣 | H2 | H2O、O2、CO、CO2、CH4、NMHC |
*表中僅列出典型的和常見的氣體,更多可純化氣體請與鄭州云湛科技聯(lián)系

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